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本发明公开了晶棒检测装置和晶棒检测方法，该晶棒检测装置包括机架，机架上安装有移动模组和预压机构，其中，预压机构用于压紧晶棒；移动模组上安装有第一驱动装置，第一驱动装置上安装有检测机构，第一驱动装置用于驱动检测机构做往复回转运动；移动模组用于控制第一驱动装置在X、Y、Z方向上移动，检测机构用于检测晶棒的至少一侧端面数据。本发明不仅能够实现自动检测晶棒中至少一侧端面的电性能(如第二数据和/或第一数据)，从而避免检测晶棒的第二数据或第一数据所测点位不一致，而且能够连续性长时间对不同晶棒进行检测，有效提
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117832108A
(43)申请公布日2024.04.05
(21)申请号202410008747.5
(22)申请日2024.01.02
(71)申请人四川晶科能源有限公司
地址61
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