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单点金刚石车削工艺研究

余

余景池

苏州大学现代光学技术研究所

202.9.1

目录：

1.概述

2.单点金刚石车削刀具位置的校正方法

3.利用干涉测量结果补偿单点金刚石车削对称误差的方法

4.大数值孔径高次非球面超精密车削与检测工艺

5.自由曲面超精密车削与检测工艺

6.超精密车削表面粗糙度与工艺参数之间的关系实验研究

7.总结与展望

1.概述

单点金刚石车削(SPDT)的特点：

(SinglePointDiamondTurning)

ü加工周期短

ü污染小

产品一致性好

有利于批量生产的质量控制

导弹红外成像制导反射镜

导弹红外成像制导反射镜

红外雷达反射镜

步兵及坦克夜视红外透镜

航空高速多瓣防滑轴承的内滚道

陀螺仪框架与平台

X射线天体望远镜

集成电路(IC)有关的硅片

眼镜片批量生产的模具

二元光学元件

提高了武器

瞄准跟踪系统的性能

加快了新型

航天系统更新换代

提高了批量

生产效率及精度

1.概述

应用背景

国防工业

航天工业

民用工业

1.概述

单点金刚石车削工艺中的误差补偿技术在国外的研究已经非常深入，但是在其公开发表的文献上，出于工艺方法的保密，其核心数学模型，无详细的阐述。

u一般单点金刚石车削设备，都配备相应的面形误差补偿软件，并且进行加密，我们只有使用功能，不能查看源代码。如果有新的车削要求，软件将无法使用。

在实际工作中，建立自主的刀具调整和误差补偿模型，特别是针对大相对孔径的高次非球面具有非常重要的意义。

2.单点金刚石车削刀具位置偏差的校正方法

单点金刚石车削刀具偏置对车削面形的影响

刀具垂直偏置后造成车削球面半径的变大

刀具水平偏置使实际加工

轨迹的位置偏离了理论值

面形误差检

面形误差检测结果(m)

面形误差检测结果(m)

=2020,

刀具垂直偏置量(μm)

单点金刚石车削刀具偏置对车削面形的影响

刀具高于主轴迴转中心，零件顶点处将产生锥形缺陷，刀具低于主轴迴转中心，零件顶点处将产生柱形缺陷。

刀具水平偏置也会造成车削

零件顶部缺陷，形状为内锥。

2.单点金刚石车削刀具位置偏差的校正方法

单点金刚石车削刀具偏置对面形影响的实验结果

-20,

-20,

刀具水平偏置量(μm)

20.

垂直偏置对车削精度的影响水平偏置对车削精度的影响

实验证明：水平偏置对面形的影响很大，垂直偏置对面形的影响

不大。实验结果与前面理论分析所得到的结论基本一致。

车削

车削凸球面面形误差(mm)

2.单点金刚石车削刀具位置偏差的校正方法

刀具垂直位置的精确调整刀具水平位置的精确调整

利用白光干涉仪或原子力显微镜根据顶点缺陷的尺寸和形状确定刀具垂直偏置的大小和高低。

通过轮廓仪和干涉仪对面形进行

检测，根据面形误差进行刀具水

平方向位置的精调检测和调整。

2.单点金刚石车削刀具位置偏差的校正方法

单点金刚石车削刀具水平偏置的计算

5.741x10

刀具向x轴正方向偏置量和切R

保持不变，当数值孔径分别为NA=0.8,0.7,0.5,0.3,0.1时最小二乘法拟合后面形误差的理论曲线。

-2.12310

-53.13.53.13.

车删凸球面孔径角°

2.单点金刚石车削刀具位置偏差的校正方法

超精密车削刀具水平偏置的计算和实验结果的比较

试切件半径R

16mm

参与分析口径D

10.3mm

9.3mm

8.3mm

参与分析数值孔径

(sinθ)

0.32

0.29

0.26

干涉仪检测面形pv值

1.20μm

1.07μm

0.97μm

理论数值模拟面形pv值

1.16μm

1.06μm

0.95μm

干涉仪计算刀具

水平偏置量

14.51μm

13.50μm

12.43μm

2.单点金刚石车削刀具位置偏差的校正方法

单点金刚石车削刀具水平偏置的修正实验

刀具刃口圆度误差

pv=0.652,

刀具水平偏置17.33μm

pv=0.2297,

刀具水平偏置：0.56μm

刃具刃口圆度及波纹度误差对刀具水平偏置量计算影响的实验

2.单点金刚石车削刀具位置偏差的校正方法

一种刀具水平在线校正方法及实验验证

2.单点金刚石车削刀具位置偏差的校正方法

一种刀具水平在线校正方法及实验验证

存在水平偏置时的在线检测结果(pv=1.58))

水平偏