碳化硅表面氢气吸附机理研究.pdfVIP

第41卷第1期原子与分子物理学报Vol.41No.1

2024年2月JOURNALOFATOMICANDMOLECULARPHYSICSFeb.2024

J.At.Mol.Phys.,2024,41:011004(7pp)

碳化硅表面氢气吸附机理研究

尹博闻，曾庆丰，关康²，王

E璐，刘建涛，刘永胜，

董宁，张相华，彭诚2

（1.西北工业大学材料学院超高温结构复合材料重点实验室，西安7100721；2.华南理工大学材料科学与工程学院，

广州511442；3.西南交通大学机械工程学院，成都610031；4.西北核技术研究所，西安710024）

摘要：在CVD沉积SiC过程中，载气体H,与沉积SiC基体表面的反应影响沉