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规定时间内系统压力的平均增民值咂单位为干帕斯卡每在!:(kPa/s)a
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抽真空速率evacuationrate
规定时间内系统压力的平均降低值,单位为干帕斯卡每在P.CkPa/s)a
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[来晦zGB/T195872017,3.18,有修改]
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