一种利用超声波实现纳米孔无接触快速浸润的方法.pdfVIP

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2024-04-10 发布于四川
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一种利用超声波实现纳米孔无接触快速浸润的方法.pdf

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本发明公开了一种利用超声波实现纳米孔浸润的应用方法。区别于传统的化学表面处理、或者高压、高电流的浸润方法，本发明能利用较低功率的超声(3W)实现快速(小于五分钟)、无损、无接触式的纳米孔浸润。适用于不同直径、不同类型薄膜材料(氮化硅、氧化锌、氧化铝)纳米孔的应用场景，能够实现浸润速度超过两个数量级的提升。本发明提出的浸润方法无需使用复杂设备，化学试剂，操作简单，速度快，可用于纳米孔传感器的批量化浸润处理。同时该方法可用于设计集成化的小型设备用于现场、实时、移动化的浸润处理。

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN115323042A

(43)申请公布日2022.11.11

(21)申请号202210843939.9

(22)申请日2022.07.18

(71)申请人之江实验室

地址310023浙

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