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2024-04-10 发布于四川
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本发明提供一种电子束直写器以及电子束直写系统，包括：发射调控单元以及X个电子束源发射单元；X为大于等于1的整数；发射调控单元用于产生Y种选通信号，Y为大于等于2的整数；各电子束源发射单元均包括导通信号产生模块、导通信号保持模块以及电子束生成模块；导通信号产生模块的Y个控制端与Y种选通信号一一对应设置；导通信号产生模块用于同时接收到对应的选通信号时产生导通信号；导通信号保持模块接收选通信号，用于延长导通信号的有效时间；电子束生成模块接收延长有效时间的导通信号，在导通信号的有效时间内发射对应的电子束

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117850167A

(43)申请公布日2024.04.09

(21)申请号202311606156.X

(22)申请日2023.11.28

(71)申请人上海集成电路材料研究院有限公司

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