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本发明提供一种电子束直写装置，包括控制模块以及至少一个电子束源输出模块；控制模块用于产生i种控制信号；i为大于等于2的整数；各电子束源输出模块中任一电子束源输出模块在同时接收到i种控制信号时开启，进而发射对应的电子束；其中，各电子束源输出模块均包括接收单元、束流强度调控单元以及输出单元；束流强度调控单元用于提供强度调控信号；各接收单元的i个控制端在同时接收到i种控制信号时产生开启信号；各输出单元基于接收的开启信号以及强度调控信号发射对应的电子束并通过强度调控信号调控电子束的束流强度。本发明有效解
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117850168A
(43)申请公布日2024.04.09
(21)申请号202311606778.2
(22)申请日2023.11.28
(71)申请人上海集成电路材料研究院有限公司
地
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