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一种具备可调节阀板的矩形阀门.pdfVIP

一种具备可调节阀板的矩形阀门.pdf

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    本发明公开一种具备可调节阀板的矩形阀门，涉及半导体用矩形阀门技术领域。该具备可调节阀板的矩形阀门，包括：阀盒，所述阀盒内部插入连接有阀板，所述阀板下端连接有一体轴，所述阀盒下端有腔体连接板，所述腔体连接板下端设置有波纹管，所述腔体连接板下表面连接有气缸固定座，所述气缸固定座下表面连接有气缸组件，所述波纹管下端连接有传动轴座，所述气缸组件下端设置有气缸连接板，所述气缸连接板中间连接有两个凸轮槽，所述传动轴座左右两表面上端连接有上端轴承，所述传动轴座左右两侧连接有下端轴承。本发明解决了现有的阀门装配

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN117847248A

    (43)申请公布日2024.04.09

    (21)申请号202410258514.0

    (22)申请日2024.03.07

    (71)申请人沈阳富创精密设备

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