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一种嵌入式动态随机存取存储器单元，包括：字线，用以提供栅极信号；选择器薄膜晶体管（TFT），其在字线上面并且包括有源层，并且被配置成响应于栅极信号而控制在有源层的第一区域和第二区域之间的存储器单元的存储器状态的传递；位线，用以传递存储器状态，并且耦合到有源层的第一区域且在其上面；存储节点，耦合到有源层的第二区域且在其上面；以及金属‑绝缘体‑金属电容器，耦合到存储节点且在其上面，并且被配置成存储该存储器状态。在一实施例中，字线在用于互连在字线下面的在生产线前端工艺中形成的逻辑装置的生产线后端工艺中
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN110366778A
(43)申请公布日
2019.10.22
(21)申请号20178
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