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本发明公开了一种横向高压功率双极结型晶体管及其制造方法;具体是在一种常规的横向功率双极结型集体管的基础上,在所有集电区与发射区之间加入了N型环状注入,以及通过优化第一层所有金属的布局,使集电极第一层金属全覆盖于集电区之上,尺寸超出集电区结深的两倍,而发射极金属通过通孔以及第二次金属引出。理论分析在器件处于反向耐压工作状态下,所有集电结边缘由于金属场板的覆盖,使得耗尽区扩散时边缘曲面结的曲率效应大大降低,耐压急剧变大,而N环的加入可以大大的减小器件集电极与发射极之间的漏电流。通过仿真以及实际流片结
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN107946356A
(43)申请公布日
2018.04.20
(21)申请号20171
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