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本申请涉及阀块结构技术领域，尤其涉及一种模块化真空密封阀组，包括阀块主体、控制阀、真空阀、输入管、输出管和连接管，所述阀块主体内设置有抽真空通道和辅助通道，所述控制阀、真空阀、输入管、输出管和连接管均连接在阀块主体上，所述控制阀与连接管连通，所述控制阀通过辅助通道与真空阀连通，所述输入管和输出管、真空阀均与抽真空通道连通。本申请通过将抽真空通道以阀块主体内部通道的形式融入阀块主体中，使得阀块主体和抽真空结构一体化设置，使该阀组具有高密封性能、抽真空功能和流体通路控制功能，使得该抽真空阀组实现模块
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117847441A
(43)申请公布日2024.04.09
(21)申请号202410144555.7
(22)申请日2024.01.31
(71)申请人常州容导精密装备有限公司
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