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一种对位检测图案，用于半导体制程，包含具有多个不规则分布的第一线路图案及多个位于第一线路图案外侧的第一外层图案的第一图案单元，及具有多个不规则分布的第二线路图案及多个位于第二线路图案外侧的第二外层图案的第二图案单元。所述第一线路图案及第二线路图案构成内线路单元，所述第一外层图案及第二外层图案各自以相同节距分布，并构成定位图案单元。本发明叠对误差校正方法即是先依据默认数据将所述定位图案单元调整定位后，再计算取得所述内线路单元的调整参数，而可作为叠对误差的校正依据。此外，本发明还提供一种对位校正系统
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117850176A
(43)申请公布日2024.04.09
(21)申请号202311061247.X
(22)申请日2023.08.22
(30)优先权数据
1111382842022.
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