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本发明公开了一种多功能激光测试系统，包括激发光束合束模块、Raman信号探测模块、PL信号探测模块、EL测试模块、真空腔样品台以及自由空间样品台，所述Raman信号探测模块、PL信号探测模块及EL测试模块搭建于激发光束合束系统上端塔型结构上。本发明同时满足多功能的激光测试需求，系统集成度高，空间利用率高，因元器件共用，系统成本相对低，系统实现方式更多元化，并支持自定义拓展。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117849020A
(43)申请公布日2024.04.09
(21)申请号202311781303.7G01N21/359(2014.01)
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