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本发明涉及一种基于亚波长光栅超表面的热控相位调制器，包括第一层底层的透明介质基底、第二层金属薄膜层、第三层介质薄膜层、第四层介质光栅层、第五层高折射率介质光栅层、第六层热光介质层；所述的介质光栅层和高折射率介质光栅层为周期性光栅阵列，光栅周期同为p，光栅占空比同为q，厚度分别为t1和t2，其中t1
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN111897145A
(43)申请公布日2020.11.06
(21)申请号202010778137.5
(22)申请日2020.08.05
(71)申请人浙江大学
地址31
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