原创力文档- 1、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。。
- 2、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
- 3、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
本发明提供体声波谐振器的制作方法，通过增加电极金属层沉积次数，在第一电极和第二电极中与压电薄膜层相接触的金属层的声阻抗大于未与压电薄膜层相接触的金属层的声阻抗，即与压电薄膜层声阻抗之比增大，能够降低声强透射系数，迫使更多的声能进入压电薄膜层，从而增大压电材料内的声学能量，提升有效机电耦合系数，提高体声波谐振器性能。相较于现有技术中通过于压电薄膜层AlN中掺杂Sc等元素提高压电材料的压电应变常数以提升有效机电耦合系数，对工艺的要求高，且元素的偏析还会降低压电薄膜的均匀性，本申请的体声波谐振器的制作
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117856757A
(43)申请公布日2024.04.09
(21)申请号202311692896.X
(22)申请日2023.12.11
(71)申请人上海集成电路材料研究院有限公司
地
文档评论（0）