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一种导电玻璃磁控溅射镀膜阴极磁强调整系统的操作方法.pdfVIP

一种导电玻璃磁控溅射镀膜阴极磁强调整系统的操作方法.pdf

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    一种导电玻璃磁控溅射镀膜阴极磁强调整系统的操作方法，导电玻璃生产之前通过控制台设置阴极磁强数据，生产过程中，导电玻璃成品通过高斯剂检测台时，阴极磁强检测探头检测导电玻璃成品的阴极磁强数发送至PLC控制中心；当PLC控制中心接收到阴极磁强检数据小于设置的范围或不均匀时，PLC控制中心自动启动四个电机执行模块，四个电机执行模块分别控制四个步进电机自动运行、磁铁与靶材之间的距离缩小对靶材、导电玻璃进行磁控溅射镀膜阴极磁强加工；本发明的导电玻璃磁控溅射镀膜阴极磁强为在线调整系统，PLC控制中心自动控制步

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN117845177A

    (43)申请公布日2024.04.09

    (21)申请号202410054474.8

    (22)申请日2024.01.15

    (71)申请人孟州市康耀电子有限公司

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