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本发明公开了一种晶圆自动清洗装置，属于晶圆清洗技术领域，包括防护外壳，所述防护外壳的内部设置有用于对晶圆起到支撑作用的支撑机构、用于对支撑机构起到支撑作用的供料机构、用于配合支撑机构和供料机构对晶圆起到清洁和干燥作用的清洗机构，清洗机构设置在供料机构的顶部，支撑机构设置在清洗机构的内部，所述供料机构包括蓄水箱，蓄水箱的一端设置有水泵，蓄水箱的下表面设置有收集箱，收集箱的底部设置有若干个排水管；通过多结构的相互配合，使清洁喷头进行旋转，并且在清洁喷头旋转的过程中，驱动晶圆进行浮动倾斜，从而对晶圆进
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117855108A
(43)申请公布日2024.04.09
(21)申请号202410257043.1
(22)申请日2024.03.07
(71)申请人山东瑞翼德科技股份有限公司
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