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一种控温装置.pdfVIP

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  • 2024-04-10 发布于四川
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一种控温装置.pdf

    本实用新型涉及半导体加工领域，尤其涉及一种控温装置，包括连接座，连接座底面固接有第一控温板，第一控温板底面固接有第二控温板，第二控温板底面固接有待控温设备，第一连接座上设置有入口和出口，第一控温板内设置有第一通道，第二控温板内设置有第二通道，入口连通第一通道，第一通道和第二通道之间连通，第二通道连通出口，第一通道和第二通道在待控温设备上的投影可覆盖其全部控温区域，这样各个区域的温度都可以控制均衡，避免出现温度分布不均匀的情况。

    (19)国家知识产权局

    (12)实用新型专利

    (10)授权公告号CN220753376U

    (45)授权公告日2024.04.09

    (21)申请号202322242292.7

    (22)申请日2023.08.18

    (73)专利权人珠海恒格微电子装备有限公司

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