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本发明涉及晶圆检测技术领域，具体为一种基于视觉数据分析的全自动晶圆检测设备，所述全自动晶圆检测设备包括机罩、检测主体和分析机构，所述检测主体设置在机罩的内部，所述分析机构设置在机罩的外部，所述检测主体包括安装架，所述安装架的左右两端相对设置有发光组件和成像机构，本发明相比于目前的晶圆检测装置能够自动进样、自动滴液、自动接液、自动切换下一个测试点，进而节约人力时间，提高了工作效率，同时可与生产线自动化对接，同时本发明还设置有载物机构，载物机构由第一载物台、第二载物台和若干组固定组件构成，通过若干组
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117848908A
(43)申请公布日2024.04.09
(21)申请号202410036344.1
(22)申请日2024.01.10
(71)申请人东莞市晟鼎精密仪器有限公司
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