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酌射线和原子氧辐照对ZnO颐Al薄膜的影响
王文文摇摇刁训刚摇摇王天民
(北京航空航天大学物理科学与核能工程学院,北京摇100191)
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文摇摘摇利用直流磁控溅射法制备了两组ZAO薄膜,使用Co放射源对一组薄膜进行了酌射线辐照,在
原子氧地面模拟设备中对另一组进行了原子氧辐照,并对辐照前后的样品进行了微观结构、表面形貌及电学特
性的表征。结果表明,较高剂量率的酌射线辐照会降低薄膜的结晶程度,而低剂量率的辐照有相反作用。酌射
线可激发薄膜中的电子,提高其载流子浓度,最大比率为16.39%。AO辐照仅对ZAO薄膜的表面具有氧化效
应,导致表面化学成分中晶格氧比例的提高和薄膜载流子浓度的下降。随着薄膜厚度的增大,载流子浓度的下
降比例逐渐减小。
关键词摇透明导电氧化物,ZnO颐Al薄膜,酌射线,原子氧,电学性能
Effectsof酌RayIrradiationandAtomicOxygenTreatmentonZnO颐AlFilms
WangWenwen摇摇DiaoXungang摇摇WangTianmin
(SchoolofPhysicsandNuclearEnergyEngineering,BeihangUniversity,Beijing摇100191)
Abstract摇Tostudyandcomparetheeffectsof酌rayirradiationandatomicoxygen(AO)treatmentontheprop鄄
ertiesofZnO颐Al(ZAO)films,twogroupsofZAOfilmsampleswerepreparedbydirectcurrentmagnetronsputte鄄
ring.Filmsinthefirstgroupwereirradiatedby酌ray.Filmswithdifferentthicknessesintheothergroupweretreated
withAO.Themicrostructures,morphologiesandelectricalpropertiesofZAOfilmsbeforeandafterthetreatments
werecharacterizedbymodernadvancedmethods.Itisfoundthathighdoseof酌rayirradiationdecreasesthecrystal鄄
linityofZAOfilms,whileirradiationwithlowratehasanannealingeffect.酌raycanalsoexcitetheelectrons,resul鄄
tingintheincreaseofthecarrierconcentration.Thehighestratioofincreasereaches16.39%.AOtreatmenthasoxi鄄
dationeffectsonthesurfaceofZAOfilms,leadingtotheincreaseofthecontentofcrystallatticeoxygen.Thecarrier
concentrationisaccordinglydecreasedandtheratioofthedecreasedropsasthefilmthicknessgrows.
Keywords摇Transparentconductiveoxide,ZnO颐Alfilms,酌ray,Atomicoxygen,Electricalproperty
1摇引言薄膜相比拟的光学和电学性质,可望成为ITO薄膜的
掺铝氧化锌,即ZnO颐Al(ZAO)薄膜是一种透明最佳替代者。
导电氧化物(TCO)薄
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