基于光纤光声传感的多组分痕量气体检测技术_WORD.docxVIP

引用格式：ZHAOXinyu，MAFengxiang，WANGZhengzhi，etal.MulticomponentTraceGasDetectionTechnologyBasedonFiberOpticPhotoacousticSensing［J］.ActaPhotonicaSinica，2024，53（3）：0306001

引用格式:赵新瑜，马凤翔，王正之，等.基于光纤光声传感的多组分痕量气体检测技术［J］.光子学报，2024，53（3）：0306001

基金项目：国家自然科学基金（Nos.

第一作者：赵新瑜,zhaoxiny@dlut.edu.cn

通讯作者：陈珂,chenke@dlut.edu.cn

收稿日期：2023?08?15；录用日期：2023?10?26

基于光纤光声传感的多组分痕量气体检测技术

赵新瑜1，马凤翔2，王正之1，李辰溪1，齐宏超1，刘军军3，陈珂1

（1大连理工大学光电工程与仪器科学学院，大连116024）

（2国网安徽省电力有限公司电力科学研究院，合肥230601）

（3成山集团有限公司，荣成264300）

摘要：为进一步提升多组分痕量气体检测灵敏度，设计了一套光纤光声传感系统。系统主要集成了2个近红外DFB激光器、近红外宽带光源、高速光谱模块、现场可编程逻辑门阵列信号采集与处理电路，具有激光调制控制、光声信号解调和数字锁相放大等功能。利用声学共振腔和干涉型光纤声波传感器对光声信号进行激发增强和探测增强，实现了乙炔和甲烷气体的高灵敏度检测。光纤声波传感器中以微机电系统悬臂梁作为声学敏感元件，设计了光纤法布里-珀罗干涉结构，将悬臂梁偏转位移转换为F-P腔长的变化。采用高分辨率光谱解调技术，实现了基于光纤F-P传感器的超高灵敏度光声信号检测。系统对乙炔和甲烷的检测极限分别达到2×10-9和3×10-9，归一化噪声等效吸收系数为8×10-10cm-1WHz-1/2。

关键词：光纤光声传感；光声光谱；气体检测；悬臂梁；光声探测

中图分类号：O433.5文献标识码：Adoi：10.3788/gzx0306001

0引言

光声光谱是一种低背景的高灵敏度气体检测技术［1-4］。区别于其他光学气体传感方法，光声光谱法可将声学增强技术用于提升检测灵敏度，常采用声学共振器和专用光声探测器来实现声学增强［5-8］。专用光声探测器主要有石英音叉［9-14］、光学悬臂梁［15-17］和光纤声波传感器［18-19］，其中光纤声波传感器是光纤光声气体传感系统的关键部件。在光纤光声传感系统中，光声激发光通过光纤传输并进入气室，气室中的待测气体被激发后产生光声压力波。用于传输近红外光声激发光和探测光的介质是低传输损耗的光纤，因此光纤光声传感器具有气体探测灵敏度高、本质安全、抗电磁干扰和远距离检测的优势。光纤光声传感技术可用于煤层自然发火监测、高电压电气设备在线监测以及石化厂区易燃易爆泄漏气体监测。

光纤传感器通过集成光学干涉仪可大幅度提高位移分辨率，可用于皮米量级的静态位移测量以及微小振动测量。光纤声波传感器将声波振动转换为干涉仪光程差的变化，可将其用于光声光谱系统中的微弱光声信号探测，实现痕量气体的高灵敏度全光传感。BREGUETJ等利用光纤迈克尔逊干涉仪实现了全光学光声光谱气体检测，将传感光纤缠绕在光声管上，气体吸收产生的热胀冷缩迫使光声管周期性振动，导致迈克尔逊干涉仪中测量臂和参考臂的光程差发生变化［20］。但是这种结构较复杂，且解调精度容易受到偏振衰落的影响。光纤法布里-珀罗（Fabry-Perot，F-P）传感器是另一种常用的干涉型光声探测器，采用膜片作为声学敏感元件，光纤和膜片之间的空气间隙构成的F-P腔的腔长通常在百微米量级，因此具有较小的探头尺寸，适合与光声池进行结构匹配。由于声压作用到膜片上使F-P干涉仪的光程差发生变化，因此可通过实时测量F-P的动态腔长来感测声压。王巧云等借鉴传统电容式麦克风的结构，设计了基于有机膜片的光纤声波传感器，结合掺铒光纤放大器（ErbiumDopedFiberAmplifier，EDFA）实现了C2H2的高灵敏度检测［21］。此外，石墨烯［22］、银膜［23］和聚一氯对二甲苯［24］等多种薄膜也可应用于光声信号探测，但这些圆形薄膜是一种四周紧固结构，不利于光声探测灵敏度的提升。光学悬臂梁是一种单端固定型声波敏感元件，具有低频响应好、灵敏度高和线性响应范围大等显著优点。2004年，KAUPPINENJ等设计了基于迈克尔逊干涉仪的硅微悬臂梁式光学微音器，并提出了悬臂梁增强型光声光谱（Cantileve