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本发明公开基于光学共振超颖表面实现拉普拉斯微分器的方法，属于微纳光学、光计算和光场调控应用技术领域。超颖表面是由单层非晶硅材料的方形孔单元阵列构成，工作在透射模式下。设计选定几何参数的方形孔单元，使光学共振超颖表面在工作波长范围内获得对入射角度敏感的环形偶极共振，在空域满足光学拉普拉斯运算所需的光学传递函数，保证该函数和入射角度满足二次关系。根据确定的方形孔单元的几何尺寸，生成相应光学共振超颖表面的加工文件。采用电子束刻蚀的微纳加工工艺加工透射型介质超颖表面。在共振位置，当p偏振光照射的目标图像
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117872588A
(43)申请公布日2024.04.12
(21)申请号202410086280.6
(22)申请日2024.01.22
(71)申请人中国科学院半导体研究所
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