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一种光伏太阳能N型氧化物半导体ITO化学镀铜制作工艺.pdfVIP

一种光伏太阳能N型氧化物半导体ITO化学镀铜制作工艺.pdf

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    本发明公开了一种光伏太阳能N型氧化物半导体ITO化学镀铜制作工艺，包括以下步骤：采用阳离子型调整剂对ITO薄膜进行表面调整处理，随后将其放置于氯化钠和盐酸的混合溶液中进行预浸处理，接着放置于胶体钯溶液中进行活化处理，再将ITO薄膜置于化学镀液中进行化学镀铜处理，水洗烘干后，在ITO薄膜表面上贴干膜，并通过LDI曝光机对干膜进行曝光显影后，得到线路图案，再对其电镀铜处理以加厚铜层；蚀刻处理，以去除电镀铜层之外的部分铜，形成所需的线路图案；本发明采用化学镀铜工艺在ITO薄膜上形成铜镀层，相比于传统的

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN117878197A

    (43)申请公布日2024.04.12

    (21)申请号202311670532.1

    (22)申请日2023.12.06

    (71)申请人弘凯光电（江苏）有限公司

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