一种靶材模具保护涂层及其制备方法.pdfVIP

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2024-04-13 发布于四川
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一种靶材模具保护涂层及其制备方法.pdf

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一种靶材模具保护涂层及其制备方法，属于模具涂层技术领域。本发明方法：1、取模具，洗净烘干，采用热电偶加热高功率脉冲磁控溅射设备的溅射腔室，将腔室抽真空，打开罗茨泵，再打开分子泵调真空度，调节气压，起辉，调节磁控溅射电源阻抗值；2、取SiC单靶为靶材，通入Ar进行预溅射；3、通入Ar进行溅射镀膜，结束后待温度冷却，将样品转移破真空取出，获得保护涂层。本发明提供了一种SiC涂层保护靶材模具的方法，本发明制备的碳化硅薄膜，粘附力强，性能优良，可有效对石墨进行保护；提高了零部件的强度、硬度、耐磨性、抗腐

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117867448A

(43)申请公布日2024.04.12

(21)申请号202410280034.4

(22)申请日2024.03.12

(71)申请人深圳先进技术研究院

地址518

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