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本发明公开一种基于图学习的多重图案光刻版图分解方法及系统，其版图分解方法包括：S1：根据版图分解规则,检测版图中不满足规则的特征；S2：为不满足规则的特征构建网络结构关系图；S3：将网络结构关系图输入基于图学习的神经网络模型中，得到节点的掩膜分配概率输出矩阵；S4：根据掩膜分配概率输出矩阵，对节点进行掩膜分配，并得到掩膜分配后的网络结构关系输出图；S5：将掩膜分配后的节点与原始版图中的特征一一对应，并重建版图文件。本方法使用基于图学习的编码器‑解码器架构对版图分解问题进行求解，在获得近似最优解的
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117875253A
(43)申请公布日2024.04.12
(21)申请号202410046590.5
(22)申请日2024.01.11
(71)申请人华南理工大学
地址510641
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