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本发明涉及一种高收纳率的硅晶片转运机械臂及硅晶片生产线，上述硅晶片转运机械臂包括：基台组件，包括安装基台；至少一组抓取组件，用于水平伸展并承载硅晶片，包括抓取台部件及用于驱动抓取台部件使抓取台部件水平伸展的伸展部件；以及至少一组折展组件，用于对应驱动伸展部件，安装于安装基台上。本发明提供的硅晶片转运机械臂可通过空间连杆结构的旋转实现机械臂大行程的伸展变化，从而提供更充裕的加工空间；本发明提供的硅晶片转运机械臂可独立驱动不同的套筒结构实现不同组机械的旋转和伸缩，以扩大转运空间，并提高加工效率。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117863216A
(43)申请公布日2024.04.12
(21)申请号202410023936.X
(22)申请日2024.01.05
(71)申请人武汉大学
地址430072
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