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本实用新型提出一种掩模板调整装置及曝光机,掩模板调整装置包括掩模板、载台、固定组件、升降组件及多个球头,载台设置在掩模板底部;多个球头设置在载台的顶部,且多个球头对应分布在掩模板的底部四周;升降组件设置在载台底部,升降组件上升时与载台抵接并带动载台同步上升;直至载台与多个球头抵接,并推动多个球头与掩模板抵接;固定组件可升降设置在载台底部,固定组件用于待多个球头与掩模板抵接后上升,并与载台连接并固定。本实用新型技术方案减少载台与掩模板之间的接触点,提高调整的精度。在调整找平后,通过固定组件对载台进
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号CN220773418U
(45)授权公告日2024.04.12
(21)申请号202322400101.5
(22)申请日2023.09.05
(73)专利权人萍乡市海目芯微电子装备科技有
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