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2024-04-13 发布于四川
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一种晶圆托盘底座.pdf

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本实用新型提供了一种晶圆托盘底座，包括底盘和支撑台，底盘与支撑台之间通过旋转组件转动连接，旋转组件包括支撑柱和设于支撑柱内并相对其转动的旋转轴，支撑柱与底盘固定连接，旋转轴与支撑台固定连接，支撑台用于盛放晶圆托盘，支撑台包括若干相互连接的支撑板，若干支撑板圆周对称设置，支撑板的端部设有限位槽，限位槽内连接有限位条，限位条的高度大于限位槽的深度，以使晶圆托盘放置在限位条上，限位条远离限位槽的一端沿径向设有限位凸起。本实用新型提供的晶圆托盘底座，通过设置相互旋转的支撑台和底座，方便晶圆托盘的旋转对位

(19)国家知识产权局

(12)实用新型专利

(10)授权公告号CN220774313U

(45)授权公告日2024.04.12

(21)申请号202322321036.7

(22)申请日2023.08.28

(73)专利权人江西兆驰半导体有限公司

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