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一种热导式绝对湿度传感器及其制作方法.pdfVIP

一种热导式绝对湿度传感器及其制作方法.pdf

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    本发明公开了一种热导式绝对湿度传感器及其制作方法，所述传感器包括：顶盖和基底，所述顶盖设置第一容纳槽和第二容纳槽；所述基底上沉积成型有第一热敏电阻膜和第二热敏电阻膜；其中，所述顶盖和所述基底由硅基材料制作成型，所述顶盖与所述基底键合，使所述第一热敏电阻膜和所述第二热敏电阻膜分别位于所述第一容纳槽和所述第二容纳槽内，所述顶盖穿设有连通所述第一容纳槽或所述第二容纳槽的气孔。本发明相对于传统的绝对湿度传感器，通过对热敏电阻膜特性一致的控制提高了电阻值的测量精度，进而提高了绝对湿度值的测量精度，同时，极

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN117871618A

    (43)申请公布日2024.04.12

    (21)申请号202311821125.6

    (22)申请日2023.12.27

    (71)申请人中国科学院遗传与发育生物学研究

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