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一种脉冲压缩琥珀金光栅及其制备方法,所述的琥珀金光栅金属层选用合适配比的金基含银、铂系元素的二元或多元混合物,或者金顶银底薄膜。所述的制备工艺包括琥珀金光栅特征轮廓参数和琥珀金膜材料配比优选。本发明的琥珀金光栅在不退化传统金光栅光学性能的前提下,拓宽光栅高衍射效率波段,改善或解决纯银光栅的易氧化问题,进一步提升金光栅抗激光损伤阈值,工艺参数可以支持米级口径的光栅制备。本发明的光栅及相关工艺参数可支撑从光谱仪、商用超快激光器到大型高峰值功率激光器的建设,对脉冲压缩光栅发展有重大意义。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN115437053A
(43)申请公布日2022.12.06
(21)申请号202211198640.9
(22)申请日2022.09.29
(71)申请人中国科学院上海光学精密机械研究
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