超高速快轴旋转圆形弹光调制技术研究_WORD.docxVIP

引用格式：LIUYanlin，ZHANGRui，XUEPeng，etal.ResearchonUltra-high-speedFast-axisRotatingCircularPhotoelasticModulationTechnology［J］.ActaPhotonicaSinica，2024，53（3）：0323001

引用格式:刘燕霖，张瑞，薛鹏，等.超高速快轴旋转圆形弹光调制技术研究［J］.光子学报，2024，53（3）：0323001

基金项目：国家自然科学基金（No.

第一作者：刘燕霖163.com

通讯作者：张瑞，zhangrui@

收稿日期：2023?08?14；录用日期：2023?10?07

超高速快轴旋转圆形弹光调制技术研究

刘燕霖，张瑞，薛鹏，陈媛媛，王志斌，李孟委

（中北大学仪器与电子学院，山西省光电信息与仪器工程技术研究中心，太原030051）

摘要：针对目前广义椭偏测量速度受限问题，提出利用对称性更优的圆形弹光调制器代替机械旋转补偿器实现超高速测量。对弹光调制器内部受力进行理论研究，得到纯行波模式调制条件并利用COMSOL仿真验证。仿真结果表明，当弹光调制器处于纯行波调制模式时可视为一种快轴方向高速旋转的相位调制器。通过建立阻尼弦振动模型分析不同快轴方向下弹光晶体表面振动位移分布，提出一种弹光调制器在纯行波调制模式下的中心支撑方式用于实验。实验结果表明弹光调制器的快轴以f/2的角速率做圆周运动。同时验证了中心支撑方式可确保弹光调制器谐振后所受阻力均匀且最小，达到最佳支撑效果。研究结果可用于后续广义椭偏测量及各类高速偏振调制领域。

关键词：超高速椭偏测量；纯行波调制模式；阻尼弦振动模型；圆形弹光调制器

中图分类号：TN202文献标识码：Adoi：10.3788/gzx0323001

0引言

微电子在线原位检测、捕捉材料物理生物瞬态机制的变化过程对高速测量的要求越来越高［1-3］，传统广义椭偏测量技术采用旋转补偿器或者双补偿器的结构进行测量，时间分辨率只能达到秒级，测量速度受限。弹光调制器（PhotoelasticModulator，PEM）作为一种光学谐振式偏振调制器件，具有调制速率高（数十kHz至数百kHz）、稳定性好（工作在谐振状态）等特点［4-6］。当PEM处于谐振状态时，压电驱动器的逆压电效应使得弹光晶体内部出现双折射现象［7-8］，从而对通过弹光晶体的光信号进行相位调制。

2010年，PETKOVSEKR等开发了基于PEM的高速穆勒矩阵部分元素椭偏测量方法，时间分辨率可达30μs［9］，但该方法无法实现全穆勒矩阵16个元素的测量；2012年，ORIOLA等通过使用4个PEM实现全穆勒矩阵椭偏测量，时间分辨率可达0.7s［10］，但结构较为复杂；2014年，LóPEZ-TéLLEZJM等通过液晶可变相位延长器（LiquidCrystalVariableRetarder，LCVR）实现椭偏测量，但由于LCVRs的调制频率较低，最终椭偏测量时间分辨率仅为2s［11］；2019年EBNERA等提出基于弹光调制的红外穆勒矩阵部分元素椭偏测量方法，时间分辨率优于1s［12］。上述方法无法同时满足毫秒级时间分辨率和全穆勒矩阵广义椭偏测量。2020年刘世元等提出基于双弹光偏振调制和分振幅偏振解调原理的高速全穆勒矩阵椭偏测量方法，时间分辨率可达11μs［13-14］，真正实现微秒级广义椭偏测量，但该系统需要6个光电倍增管和多个分束镜，整个系统比较复杂。

为更进一步提高时间分辨率同时简化系统结构，本文介绍了一种更为对称的圆形PEM，当其工作在纯行波模式下，可用于替代旋转补偿器，调制频率可达60kHz。利用COMSOL仿真验证PEM纯行波调制模式。基于纯行波调制模式的独特性质，提出一种中心支撑方式用于实验。

1理论

1.1弹光调制器纯行波理论分析

PEM由两个压电驱动器和具有高度对称性的圆形弹光晶体胶合而成，两个压电驱动器之间的角度为45°。如图1所示，A、B表示两个压电驱动器，C表示圆形弹光晶体。压电驱动器与弹光晶体具有相同的频率，并且高度耦合。压电驱动器在相同频率、任意相位的交流高压的作用下发生逆压电效应，迫使弹光晶体产生应变，由各向同性的弹光晶体变为单轴晶体。

图1圆形PEM

Fig.1Circularphotoelasticmodulator

弹光晶体内部的应力驻波T可分解为沿逆时针方向和顺时针方向的应力行波，在极坐标系下可表示为

T=TAco

式中，TA、TB分别为A、B两个压电驱动器在弹光晶体内部产