GRIN色散物镜光学像差对峰值波长提取的影响_WORD.docxVIP

引用格式：LIChunyan，LIDanlin，LIUJihong，etal.EffectofOpticalAberrationonPeakWavelengthExtractionBasedonGRINDispersionObjective［J］.ActaPhotonicaSinica，2024，53（3）：0322003

引用格式:李春艳，李丹琳，刘继红，等.GRIN色散物镜光学像差对峰值波长提取的影响［J］.光子学报，2024，53（3）：0322003

基金项目：国家自然科学基金（No.，陕西省自然科学基金（No.2022JM?387），陕西省重点研发计划（No.2020GY?127），西安市科技计划项目（No.2020KJRC0112）

第一作者：李春艳，yanerlcy@163.com

通讯作者：李丹琳，limoonstar@

收稿日期：2023?07?26；录用日期：2023?09?08

GRIN色散物镜光学像差对峰值波长提取的影响

李春艳，李丹琳，刘继红，李可，蒋杰伟

（西安邮电大学电子工程学院，西安710121）

摘要：为提高光谱共焦位移传感系统接收信号峰值波长提取精度，基于设计的梯度折射率（GradientIndex，GRIN）色散物镜，系统分析了光学像差对峰值波长提取的影响。首先结合GRIN色散透镜的光学性能，利用光学像差理论，建立了优化后GRIN色散物镜的像差分布函数，获得了各类像差与波长分布之间的关系；然后仿真分析了各类单色像差以及组合像差对峰值波长分布的影响，利用三种拟合算法分别提取存在不同像差下的峰值波长，得到了光学像差引起的GRIN色散物镜峰值波长偏移；最后利用不同的拟合方法对像差影响下的轴向响应信号进行了数据拟合和拟合误差分析。结果表明，球差为1时，引起峰值波长偏移6.28nm；当球差大于1时，出现双峰，球差越大引起的峰值波长偏移越大；像散对峰值波长偏移的影响小于球差；组合像差对峰值波长的影响最大，出现了三峰旁瓣同时升高。研究结果对建立像差影响的峰值波长提取误差修正和补偿算法，并进一步提高系统测量精度具有参考意义。

关键词：梯度折射率色散物镜；光学像差；峰值波长提取；数据拟合；光谱共焦

中图分类号：TH741文献标识码：Adoi：10.3788/gzx0322003

0引言

光谱共焦位移传感系统使用宽谱光源照射物体表面，利用光学色散原理使色散物镜产生轴向色差，建立色散距离与波长间的对应关系，利用光谱仪探测聚焦于物体表面并反射回来的光谱响应峰值波长，获得精确的轴向位置或微小位移数据，具有超高的距离测量分辨率，且对环境及材料具有广泛的适应性［1-3］。色散物镜是光谱共焦位移传感系统的核心器件，系统的测量精度与色散物镜的分辨率有着密切的关系，测量值的精确度和测量范围取决于色散物镜轴向色散的大小，而色散物镜的光学像差影响聚焦波长的轴向分布，对采集的光谱响应数据产生干扰，进而影响系统的测量性能［4-6］。梯度折射率（GradientIndex，GRIN）透镜具有多自由度的折射率参数，其效果等同于多面型复杂、工艺要求和成本较高的匀质光学元件，具有几何形状简单、重量轻、体积小、光学性能优良等特点，且便于光学集成［7-10］。SARAHL等［11］提出使用衍射光学元件为色度深度测量提供聚焦波长编码，利用衍射透镜进行波长的深度编码和非机械深度扫描，在100nm波段范围轴向色散达到55μm。LIUQ等［12］使用的FK7l、LAF4和ZF72A玻璃分别产生线性正色散和负色散，在430~710nm波长范围内，产生了1mm的轴向色散。MAJ等［13］根据光谱共焦位移传感器的工作原理和轴向色散条件，选用3种玻璃材料N-KZFS11、N-SF66和N-PK52A，结合三个单透镜和两个双胶合透镜，在450~650nm波长范围内，设计出了轴向色散约为1050μm的色散物镜。在上述研究中，色散范围满足设计要求的组合系统的线性度较差，影响了系统的灵敏度和测量精度。

使用小口径色散物镜光谱共焦位移传感系统可以不受色散物镜轴向色散大小的限制，深入产品获得合适的工作距离，间接扩大传感器的测量范围，因此，针对小孔内径或产品内部缺陷检测的应用需求，在GRIN透镜研究的基础上［14-17］，本文利用GRIN透镜设计了微小口径色散物镜。为分析GRIN色散物镜光学像差对峰值波长提取的影响，实现基于GRIN色散物镜的光谱共焦位移传感系统的性能优化，研究了GRIN色散物镜的光学像差对峰值波长提取的影响，并建立了光学像差拟合算法。首先，利用傅立叶光学的波前像差方程，结合GRIN色散透镜