原创力文档- 1、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。。
- 2、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
- 3、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
本发明公开了一种可级联的波导集成单光子探测器，包括波导和单光子探测器，单光子探测器包括位于波导两侧的探测器电极以及覆盖于波导上方与探测器电极相连的纳米线，纳米线由若干个平行的纳米线单元依次首尾相连而成，纳米线蜿蜒延伸的方向与波导的延伸方向相同，单个纳米线单元的延伸方向与波导的延伸方向垂直。本发明可通过混合集成在一根波导上级联多个探测器，使得片上探测效率趋近100％；本发明纳米线的拐角设置在波导耦合区域外，可保证同波导耦合的所有纳米线均响应光子；可实现单光子探测器的备份与冗余；在转移集成过程中具有
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117878180A
(43)申请公布日2024.04.12
(21)申请号202311614865.2
(22)申请日2023.11.29
(71)申请人厦门大学
地址361005
文档评论（0）