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2024年化合物半导体的外延生长设备项目创业投资方案.docx

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    化合物半导体的外延生长设备项目创业投资方案

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    化合物半导体的外延生长设备项目创业投资方案

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    TOC\h\z15797建设区基本情况 4

    25100一、化合物半导体的外延生长设备项目建设内容 4

    7553(一)、建筑工程 4

    872(二)、电气、自动控制系统 6

    5073(三)、通用及专用设备选择 7

    15211(四)、公共工程 9

    7306二、化合物半导体的外延生长设备项目基本情况 11

    2578(一)、化合物半导体的外延生长设备项目名称及化合物半导体的外延生长设备项目单位 11

    1213(二)、化合物半导体的外延生

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