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一种避免多运动机构碰撞的方法、设备及可读存储介质.pdfVIP

一种避免多运动机构碰撞的方法、设备及可读存储介质.pdf

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    本发明涉及ALD设备控制技术领域，具体为一种避免多运动机构碰撞的方法，本该避免多运动机构碰撞的方法在手、自动状态下均能有效提供干涉保护，应用场景更加全面；干涉区的设置只与轴坐标有关，而与自动运行逻辑无关，所以在自动运行逻辑变更时，不影响本发明提供的干涉保护，并且，由于本发明提供的相关干涉逻辑固定后，干涉区的设置调整只需更改轴坐标，因此任何操作人员都可以根据现场需求调整干涉区的设置，以满足不同的现场需求；本发明可以设置多个干涉区，来完成多轴的、多干涉逻辑的、相对复杂的干涉保护。

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN117873069A

    (43)申请公布日2024.04.12

    (21)申请号202311777170.6G05D1/644(2024.01)

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