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本发明公开了一种具有自动对焦功能的调焦标定方法及曝光补偿方法,确定AF机构运动量与平台焦面变化量的关系,具体包括:将AF机构设置在曝光镜头的下方,将平台上的吸盘相机移动至一个曝光镜头正下方,通过吸盘相机确定平台的最佳焦面位置Zm;通过确定AF机构运动量与平台焦面变化量的关系,获取AF机构调焦位置与平台焦面的变化量的关系模型,从而保证AF机构对焦面补偿的准确性,消除由于加工误差和运动误差以及运动量对焦面产生的不同影响,防止出现理论补偿的面型差与实际需要补偿的面型差产生差异的现象。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117872684A
(43)申请公布日2024.04.12
(21)申请号202311738057.7
(22)申请日2023.12.15
(71)申请人矽电半导体设备(深圳)股份有限公
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