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本发明公开了用于精细线路板的线路蚀刻参数补偿优化方法及系统，涉及线路板制造领域，包括：建立蚀刻液的喷淋速度与距离产生的压力模型；控制下喷嘴喷淋的蚀刻液的浓度值为蚀刻浓度基准值，对下喷嘴喷淋的蚀刻液的速度进行调整；求出第一实时蚀刻深度的第一实时变化速率；判断定位点处是否进行蚀刻；求出第二实时蚀刻深度的第二实时变化速率；修正蚀刻定位点对应的上喷嘴喷淋的蚀刻液的浓度值为浓度修正值；对上喷嘴喷淋的蚀刻液的速度进行调整。通过设置模型建立模块、参数调整模块、判断识别模块和数据计算模块，消除喷淋压力导致的蚀刻
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117881096A
(43)申请公布日2024.04.12
(21)申请号202410282525.2
(22)申请日2024.03.13
(71)申请人江苏普诺威电子股
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