原创力文档- 1、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。。
- 2、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
- 3、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
本实用新型提供了一种气体管路。所述气体管路包括：气源、反应腔以及控压泵；所述反应腔的进气口通过第一阀门与所述气源连接，所述控压泵与所述反应腔的出气口连接，所述气源通过第二阀门与所述控压泵连接。当所述气源的气压高于所述反应腔的气压时，通过先关闭所述第一阀门，打开所述第二阀门，使所述气源的气体通过所述第二阀连通所述控压泵，从而使得所述气源的气压与所述反应腔中的气压一致，防止因为所述气源与所述反应腔的气压差过大而使气体瞬间大量进入反应腔并且在遇到反应腔高温时发生爆燃，避免因此导致的所述反应腔的石英破裂
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号CN220770823U
(45)授权公告日2024.04.12
(21)申请号202322363332.3F16L55/07(2006.01)
(22)申请日2023.08.
文档评论（0）