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- 2024-04-13 发布于四川
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本发明公开了一种晶圆图合档方法、装置、设备及计算机可读存储介质，属于晶圆测试技术领域。本发明通过获取建立在第一坐标系下的第一晶圆图，以及建立在第二坐标系下的第二晶圆图；从第一晶圆图中检测基准点在第一坐标系中的坐标，并将基准点在第一坐标系中的坐标作为第一坐标；从第二晶圆图中检测基准点在第二坐标系中的坐标，并将基准点在第二坐标系中的坐标作为第二坐标；基于第一坐标和第二坐标，确定第一坐标系和第二坐标系之间的对应关系；基于对应关系，对第一坐标系下的第一晶圆图和第二坐标系下的第二晶圆图进行合档，得到待合档
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117876221A
(43)申请公布日2024.04.12
(21)申请号202410276424.4G06N3/094(2023.01)
(22)申请日2024.03.
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