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研磨设备的定位安装方法及定位工装板.pdfVIP

研磨设备的定位安装方法及定位工装板.pdf

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    本申请提供一种研磨设备的定位安装方法及定位工装板，定位安装方法包括将定位工装板安装于筒体的内侧，且与筒体内壁可拆卸连接，定位工装板包括定位孔，定位孔与筒体同轴。将主轴穿设于定位孔且保持主轴与定位工装板相对固定，以使主轴根据定位工装板定位，部分主轴位于筒体的研磨腔内，部分主轴位于筒体的传动腔内。将位于传动腔内的部分主轴与支撑座相对固定，支撑座用于支撑主轴。拆卸定位工装板，将密封组件安装于筒体的内壁与主轴之间，密封组件用于密封研磨腔和传动腔。本申请提供的定位安装方法利用定位工装板对主轴进行定位，以主

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN117861784A

    (43)申请公布日2024.04.12

    (21)申请号202410024825.0

    (22)申请日2024.01.03

    (71)申请人深圳市尚水智能股份有限公司

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