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2024-04-13 发布于四川
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本实用新型涉及晶圆清洗技术领域，特别是涉及一种晶圆清洗腔承载机构，将清洗装置通过定位杆安装在顶板上，抽真空机构启动配合吸盘对清洗装置吸附固定，且还可对清洗装置起到一定的减震效果，清洗废液经排液管排入废液箱内经，滤网初步过滤回收，整体结构简单，操作便捷，实用性较强；包括底箱、支架、顶板和清洗装置，支架固定安装在底箱的内部底端，顶板固定安装在支架的顶部，清洗装置位于顶板的上方；还包括连接固定机构、废液回收机构和减震机构，连接固定机构安装在顶板上对清洗装置稳定支撑，废液回收机构安装在底箱内，减震机构安

(19)国家知识产权局

(12)实用新型专利

(10)授权公告号CN220760465U

(45)授权公告日2024.04.12

(21)申请号202322406878.2

(22)申请日2023.09.06

(73)专利权人众芯联达半导体科技（大连）有限

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