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本实用新型适用于微波等离子清洗机技术领域，提供了一种柜式80L腔体侧装微波源的微波等离子清洗机，包括柜体，所述柜体内安装有工作腔体，还包括：腔体门、真空泵系统、抽真空系统、载气管路和微波系统；所述腔体门设置在工作腔体上，所述腔体门用于打开或闭合工作腔体；所述微波系统包括冷却风机、风冷磁控管、导风管、冷却排风管、微波发生器、可拆卸法拉第网，所述微波发生器设置在工作腔体的右侧面，其内侧放置方形玻璃与工作腔体连接。本申请满足批量生产需求，用于材料表面小分子有机物干法清洗、材料表面活化、表面改性、表面材
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号CN220760368U
(45)授权公告日2024.04.12
(21)申请号202322268514.2
(22)申请日2023.08.23
(73)专利权人中科光智（重庆）科技有限公司
地
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