原创力文档- 1、本文档共72页，其中可免费阅读24页，需付费169金币后方可阅读剩余内容。
- 2、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。
- 3、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
- 4、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
查看更多
《薄膜陶瓷基板工厂设计标准》
·1·
前言
根据住房城乡建设部《关于印发2016年工程建设标准规范制订、修订计划的通知》(建标函〔2015〕274,号)的要求，标准编制组经广泛调查研究，认真总结实践经验，参考有关国际标准和国外先进标准，并在广泛征求意见的基础上，编制了本标准。
本标准主要技术内容：总则，术语，总体设计，工艺设计，基本工艺，工艺设备配置，建筑与结构，公用设施，电气设计，环境保护、节能与安全设施等。
本标准由住房城乡建设部负责管理。
本标准主编单位：工业和信息化部电子工业标准化研究院(地址；北京市东城区安定门东大街1号，邮政编码：100007)
中国电子科技集团公司第五十五研究所
本标
文档评论（0）