X射线光电子能谱(XPS).pptVIP

X射线光电子能谱〔XPS〕一、X光电子能谱的根本原理二、X光电子能谱仪三、X光电子能谱的测量和分析

光电子的产生—光电效应在高真空系统中，将X射线照射在物质上，使物质原子中不同能级的电子受到激发而发射出来。光电子发射过程光电子的产生〔入射光子与物质作用，光致电离产生光电子〕光电子的运输〔光电子自产生处运输到物质外表〕光电子的逸出〔克服外表势垒而发射到物质外的真空中去〕一、X光电子能谱的根本原理

X射线与固体物质的相互作用

电子能谱分类XPS–X射线光电子能谱X射线激发内壳层上的电子由于内壳层电子结构与元素对应，可定性或定量分析样品外表的成分和结构，还可以研究相应元素的化学键状态UPS–紫外光电子能谱紫外光子激发价带上的电子研究价带的电子结构及外表分析用于确定材料的功函数及费米能级的位置AES–俄歇电子能谱可定性或定量分析样品外表的成分和结构

光电子的发射过程

光电子能谱的标识光电子能谱中谱线的标识采用元素符号与光电子所在的原能级符号：如C1s、Si2p、Au4f7/2在具体分析X光电子能谱时，重点分析最强的一条谱线符号KL1L2L3M1M2M3M4M5N1能级1S2S2P1/22P3/23S3P1/23P3/22D3/23D5/24S符号N2N3N4N5N6N7O1O2O3O4能级4P1/24P3/24D3/24D5/24F5/24F7/25S5P1/25