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半导体芯片项目风险可行性方案
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半导体芯片项目风险可行性方案
目录
TOC\h\z4407前言 3
26592一、半导体芯片项目建设目标 3
12012(一)、半导体芯片项目建设目标 3
15009二、工艺方案的选择 5
28455(一)、基本要求 5
7187(二)、典型工艺技术介绍 6
386(三)、半导体芯片项目组成 7
27023(四)、工艺技术方案的选择 9
4492(五)、工艺技术方案的设计 10
15762三、半导体芯片项目建设内容 12
16443(一)、建筑工程 12
3077(二)、电
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