超快激光制备PMMA微流道机理及工艺研究.pdfVIP

超快激光制备PMMA微流道机理及工艺研究.pdf

  1. 1、本文档共6页,可阅读全部内容。
  2. 2、原创力文档(book118)网站文档一经付费(服务费),不意味着购买了该文档的版权,仅供个人/单位学习、研究之用,不得用于商业用途,未经授权,严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等,侵权必究。
  3. 3、本站所有内容均由合作方或网友上传,本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺!文档内容仅供研究参考,付费前请自行鉴别。如您付费,意味着您自己接受本站规则且自行承担风险,本站不退款、不进行额外附加服务;查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档,您可以点击 这里二次下载
  4. 4、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等,请点击“版权申诉”(推荐),也可以打举报电话:400-050-0827(电话支持时间:9:00-18:30)。
  5. 5、该文档为VIP文档,如果想要下载,成为VIP会员后,下载免费。
  6. 6、成为VIP后,下载本文档将扣除1次下载权益。下载后,不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们
  7. 7、成为VIP后,您将拥有八大权益,权益包括:VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
  8. 8、VIP文档为合作方或网友上传,每下载1次, 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等,对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多

第49卷第8期激光与红外Vol.49,No.8

2019年8月LASER&INFRAREDAugust,2019

文章编号:10015078(2019)08093506·激光应用技术·

超快激光制备PMMA微流道机理及工艺研究

1,21,21,2

王中旺,汪帮富,丁雯钰

(1苏州科技大学机械工程学院,江苏苏州215009;2苏州市高效与精密加工技术重点实验室,江苏苏州215009)

摘要:由于传统加工方法不能解决PMMA微流道的加工质量不好和效率低的问题,本文对

超快激光直写PMMA制备微流道的烧蚀机理和工艺参数进行了研究。根据实验分析不同的

激光功率、加工速度和加工次数对微流道的宽度和横截面的影响规律,利用超快激光加工系统

制备微流道,并采用超景深三维显微镜观测微流道的表面形貌。实验结果表明,当超快激光的

加工速度为20mm/s时,激光功率为15W时,制备的微流道的宽度较小、宽度趋势比较平

稳;当超快激光作用PMMA的次数一样,由于加工速度逐渐增加,制备的微流道其宽度和激光

的加工速度保持线性增加。当加工速度越大时,微流道的宽度较小、且壁面趋势相对平缓,而

当加工速度一定,超快激光的输出功率在15W时,微流道内壁区域不易出现残渣堆积和气

泡隆起现象。本文通过优化超快激光加工系统的工艺参数,从而加工出尺寸精度高、表面光

滑、宽度为20~90m的微流道芯片。

μ

关键词:超快激光;激光烧蚀;烧蚀阈值;PMMA微流道

中图分类号:TN249文献标识码:ADOI:10.3969/j.issn.10015078.2019.08.004

Researchonablationmechanismandprocessparametersof

PMMAmicrochannelsbyultrafastlaser

1,21,21,2

WANGZhongwang,WANGBangfu,DINGWenyu

(1CollegeofMechanicalEngineering,SuzhouUniversityofScienceandTechnology,Suzhou215009,China;

2SuzhouKeyLaboratoryofPrecisionandEfficientMachiningTechnology,Suzhou215009,China)

Abstract:SincethetraditionalprocessingmethodscannotsolvetheproblemofpoorqualityandlowefficiencyofPM

MAmicrochannelprocessing,theablationmechanismandprocessparametersofpreparingPMMAmicrochannelswith

ultrafastlaserdirectwritingwerestudiedinthispaperTheeffectsoflaserpower,processingspeedandprocessing

timesonthewidthandcrosssectionofthemicrochannelwereanalyzedbasedonexperimentsThemicrochannels

文档评论(0)

说明书文库 + 关注
实名认证
文档贡献者

教师资格证持证人

说明书文库

领域认证该用户于2023年12月02日上传了教师资格证

1亿VIP精品文档

相关文档