钛合金微制造技术研究进展与展望.docx

1??序言

精密化、微型化是现代制造业的重要发展方向。钛合金作为一种重要的轻质合金，具有比强度高、耐蚀性强以及生物相容性好等特点，被认为是制造金属微结构件的理想材料。随着制造技术的发展，钛合金必将在航空航天、生物医疗和精密仪器等领域得到更多的应用。

然而，钛合金本身导热系数低、弹性模量小且高温下化学亲和力强，属于典型难加工材料。同时，金属微结构件体积小、特征复杂，对精度及表面质量要求高，采用传统加工工艺普遍存在加工质量差、刀具磨损快等现象。因此，研究和探寻高效、高品质的钛合金微制造技术已成为当前的一个热点。

本文按增材、等材和减材成形类别对现有的钛合金微制造方法与技术进行了综述，介绍了它们的成形原理与工艺特点，并对钛合金微制造技术的未来发展方向提出了展望。

2??钛合金增材微制造技术

钛合金增材微制造技术以数字化模型为基础，在保护气氛下打印出二维截面，堆积连续的二维截面进而获得三维实体。常见的钛合金增材制造技术有选区激光熔融（SLM）、选区电子束熔化（EBM）等。

SING等[4]通过SLM技术制备出图1所示的钛钽合金多孔试样，发现多孔结构的尺寸精度、力学性能对激光功率更为敏感；MIRANDA等[5]研究了SLM技术加工薄壁零件的能力，通过数学模型分析了加工参数的影响，并以Ti6Al4V为原料制备出微板、微柱结构；通过EBM制备出具有优良组织结构的Ti2448多孔试样，且该试样有较高的强度模数比。

图1??SLM技术加工的钛钽合金多孔试样

增材微制造技术生产的零件存在内部孔隙，对其机械性能有不利影响。此外，该技术以图层堆积方式进行加工，成品零件表面粗糙度欠佳，部分场合需要后续处理以满足实际需求。

3??钛合金等材微制造技术

钛合金等材微制造技术主要为粉末注射微成形技术。该技术加工时将粉末与粘结剂混炼制成加工原料，成形出特定形状，经脱脂、烧结等环节得到所需要的产品。该技术制备的工件成分均匀、后期废料少，具备批量生产能力，其部分加工实例如图2所示。

图2??粉末注射微成形制备的钛合金微零件

由于该技术生产原料——低氧超细球形钛粉成本较高，因此研究了低成本替代原料——氢化物脱氢（HDH）钛粉的加工可行性，并确定了该原料的关键工艺参数，最终成品收缩均匀，但含氧量高于预期；以水溶性聚乙二醇（PEG）为主要成分，聚碳酸亚内酯（PPC）、聚甲基丙烯酸甲酯（PMMA）为主链成分开发了适用于钛合金粉末注射微成形的新型粘结剂体系，新型粘结剂可显著提高成形件的生坯强度，有利于后续加工。

钛合金粉末注射微成形技术具有批量生产能力，然而较高的原料成本限制了该技术的推广，需要进一步开发低氧超细球形粉末的制备工艺，或开展低成本替代原料的加工性能研究。另外，钛合金粉末注射微成形的粘结剂通常是借鉴其他粉末的加工工艺，特性无法与钛合金完全匹配，需要进一步开发适合钛合金的新型粘结剂以获得更好的加工效果。

4??钛合金减材微制造技术

4.1?机械微加工技术

机械微加工技术通过刀具的微量切削作用去除材料，具有加工精度高、表面完整性好、加工柔性强和表面成分稳定等优点。

PRATAP等[10]通过球头微铣削技术在Ti6Al4V表面制备出了微凹坑与微网格结构（部分微结构见图3），并研究了不同结构的摩擦学性能；ZIBEROV等[11]研究了钛合金微切削时刀具涂层对刀具磨损的影响，结果表明，在干式切削条件下，采用类金刚石涂层刀具、TiAlN涂层刀具切削Ti6Al4V材料时刀具磨损可分别降低640%、267%。

图3??微铣削加工的Ti6Al4V微结构

由于钛合金的切削加工性能较差，加工过程易出现刀具磨损、表面毛刺等现象，因此钛合金的机械微加工相较于常规金属而言难度更大。尽管近期关于钛合金机械微加工的研究论文爆发式增长，但其工业化应用的案例实际上非常稀少。

4.2?热能微加工技术

（1）激光微加工技术?激光微加工技术通过高能量密度激光蚀除工件材料，与常规激光加工技术相比精度更高，热影响区更小，尤其适合工件局部的热烧蚀处理。

TEMMLER等[12]在高扫描速度条件下对钛合金进行了激光微加工，加工效果如图4所示；WANG等[13]通过激光微加工技术在Ti6Al4V表面制备出连通的蜂窝状结构，经处理的零件表面光学反射率降低了90%。

图4??激光微加工的钛合金表面微结构

激光微加工过程通常在空气中进行，工件表面易发生氧化变质，且热能作用下钛合金表面易产生热损伤。该技术采用的短脉冲激光发生器成本较高，需要进一步研发高效、可靠且低成本的短脉冲激光发生器，以促进该技术的工业化应用。

（2）电火花微加工技术?电火花加工技术选用微米级工具电极，通过控制工具电极与工件之间的电火花来去除材料。该技术加工精度高，且具备加工高深宽比微结构的能力。

TONG等[14]提出了双轴联动、单