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KESL:FILENAMEHOOKUP气体管线测试之标准作业程序Page:PAGE1ofNUMPAGES1
HOOKUP气体管线测试之标准作业程序
测试操作人员需经严格训练,共通过公司资格认可方能进行QA/QC。
依据配管设计图至现场确认管路。
检查被测试之管线是否正确衔接在被测机台上。
检查测试点之Take-offValve是否在开关状态,并用胶带绑住该阀,防止不慎开关。
将测试之管线,速接临时管线与PN2气源衔接。
将所测之气体管线灌入PN2,进行保压测试。
待保压测试完成,将测试气体管线中之PN2泄压至1atm后,进行氦气泄压测试。
氦气泄漏完成,微开Purge气源。
衔接Purge气源于被测拭之管线。
开测试管路于E/Q之接点使PurgeGas流出。
检查是否有Purge出来。
测试仪器接上测试管线之出口开始进行ParticleMoistureOxygen测试。
测试完成后维持Purge气源并衔接到机台。
关闭Take-offValve和PaneIorVMB之出口阀与调压阀。
检查调压阀上之压力表确实无压降发生。
关闭N2Purge气源。
拆下PurgeGas管路。
回报测试管路检查结果。
管理者确认检查N2Purge管线己拆除。
将E/Q之所有Valve挂上压克力开关之标示。
将测试周遭环境予以整理、整顿、清洁。
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