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一种用于半导体晶圆厂的光罩盒智能货柜控制系统.pdfVIP

一种用于半导体晶圆厂的光罩盒智能货柜控制系统.pdf

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    本发明涉及光罩盒智能货柜技术领域，用于解决现有的对光罩盒智能货柜的控制方式中，难以对光罩盒出入库出现的故障进行及时的排查分析，无法实现光罩盒正确、高效的出入库操作的问题，尤其公开了一种用于半导体晶圆厂的光罩盒智能货柜控制系统，包括货柜控制平台，货柜控制平台的内部设置有服务器，服务器通信连接有数据采集单元、货柜存储状态分析单元、光罩盒入库控制单元、光罩盒出库控制单元、显示控制终端和显示屏；本发明，分别对光罩盒的入库状态及出库状态进行监测分析，采用数据逐项分析、模型比较分析以及数据信号输出的方式，从

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN117888777A

    (43)申请公布日2024.04.16

    (21)申请号202211220170.1E05B65/52(2006.01)

    (22)申请日2022.10.

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