一种SiC液相长晶炉液位的检测方法及装置.pdfVIP

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2024-04-17 发布于四川
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一种SiC液相长晶炉液位的检测方法及装置.pdf

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本发明公开了一种SiC液相长晶炉液位的检测方法及装置，所述方法包括：步骤1、不在坩埚内添加熔融料，旋转坩埚，测量坩埚处于空锅状态下的电压U01；步骤2、在坩埚内添加熔融料，并使籽晶不与熔融料接触，旋转坩埚，测得长晶炉坩埚内带有熔融料且籽晶不与熔融料接触时的电压U02；步骤3、将籽晶与熔融料调整为接触状态，使坩埚与籽晶相向旋转，测得籽晶与熔融料接触状态下的电压U03；步骤4、炉内长晶一定时间后，使坩埚与籽晶相向旋转，测量待测状态下坩埚及坩埚内熔融料的电压U0x；步骤5、根据测得的U01、U02、U

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117889934A

(43)申请公布日2024.04.16

(21)申请号202311769377.9

(22)申请日2023.12.21

(71)申请人南京晶升装备股份有限公司

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